理论分析和试验结果表明，维氏硬度值与下列因素有关：
1、 试验力：硬度值大小与试验力大小、试验力方向、试验力保持时间极其施加速度有关。
2、 压头：硬度值与金刚石压头两相对面夹角、横刃及其四棱锥体的表面粗糙度等均有关。当压头顶端不是一个点而是一条线时，称这条线为压头横刃。
3、 试样：硬度值与试样材质、形状和表面粗糙度、压痕间和压痕到试样边缘间距离以及试样温度等均有关。
二、维氏硬度试验误差分析
2.1-压痕对角线长度测量不精确引起的硬度测量误差
-----当压痕对角线长度测量大了，硬度测得值较硬度真值低；反之，当压痕对角线长度测量小了，硬度测得值较硬度真值高。 压痕对角线越长，则硬度测量相对误差越小。因此当试验条件允许时，应尽量选用较大的试验力，以便能得到较大的压痕，减少硬度测量相对误差。
2.2- 试验力偏离标准值引起的硬度测量误差
-----试验力较标准值偏大时，硬度测得值较硬度真值低；反之，试验力较标准值偏小时，硬度测得值较硬度真值高
JJG151-1991《金属维氏硬度计检定规程》规定：维氏硬度计试验力允许误差为±1.0%。
JJG260-1991《显微硬度计检定规程》规定：对于≤0.9807N的试验力允差为±2.0%，＞0.9807N的试验力允差为±1.5%，≥1.961N的试验力允差为±1.0%。
2.3- 试验力不垂直于试样表面引起的硬度测量误差
-----排除压头的因素，只要测量压痕两条对角线长度并取其平均值来计算硬度值，此种因素引起的硬度测量误差很微小。
2.4 试验力保持时间偏离标准值引起的硬度测量误差
-----随着试验力保持时间的增加，硬度值降低；当试验力保持一段时间后，硬度值变化趋缓。
检定规程规定：试验力保持时间为10~15s。
2.5- 试验力施加速度引起的硬度测量误差
-----随着试验力施加速度的增加，硬度值降低。
JJG151-1991《金属维氏硬度计检定规程》规定：维氏硬度计施加试验力速度应为0.15~0.25mm/s或用压入时间表示应为2~5s。
JJG260-1991《显微硬度计检定规程》规定：显微硬度计施加试验力速度应为0.02~0.07mm/s。
2.6- 金刚石压头两相对面夹角偏离标准值引起的硬度测量误差 夹角α偏大，硬度测得值较硬度真值偏低。
-----JJG334-1993《金刚石压头检定规程》规定：金刚石棱锥体相对两棱面夹角，维氏压头应为136±0.5°；小负荷和显微维氏压头应为136±0.25°。
2.7- 压头横刃引起的硬度测量误差
-----由于压头有横刃，压痕变成长方形，使测得的压痕对角线长度增加，硬度值降低，带来负的硬度测量误差。在显微硬度试验范围内，压头横刃的影响非常大。
JJG334-1993《金刚石压头检定规程》规定：金刚石棱锥体压头顶端横刃长度，维氏压头应不大于2um；小负荷和显微维氏压头应不大于1um。
2.8- 金刚石压头表面粗糙度不符合规定引起的硬度测量误差
-----压头表面粗糙度增加，压头压入阻力增加，使硬度值升高。
JJG334-1993《金刚石压头检定规程》规定：金刚石压头表面粗糙度，RZ≤0.1um。
2.9- 试样材质不同引起的硬度测量误差
-----试验结果表明，不同材质压痕形状不同，对压痕对角线真实尖端的判断造成困难，因此带来硬度测量误差。
2.10- 试样表面粗糙度不符合规定引起的硬度测量误差
试样表面粗糙度越小，压痕边缘越清晰，则压痕对角线长度的测量越稳定，因而能得到较精确、稳定的硬度值。
2.11- 试样形状不符合规定引起的硬度测量误差
-----试样厚度减小到一定程度，将使硬度值降低。试样表面不是平面时，硬度值随着试样曲面直径的变化而变化。
GB/T4340.1-1999《金属维氏硬度试验 第1部分：试验方法》规定：试样或试验层厚度至少应为压痕对角线长度的1.5倍，试验后试样背面不应出现可见变形痕迹；对于在曲面试样上试验的结果，应使用修正系数表进行修正；对于小截面或外形不规则的试样，可将试样镶嵌或使用专用支承台进行试验。
2.12- 压痕间和压痕到试样边缘间距离不符合要求引起的硬度测量误差
-----压痕间距离太近，将使硬度值升高；压痕到试样边缘间距离太近，将使硬度值降低。
GB/T4340.1-1999《金属维氏硬度试验 第1部分：试验方法》规定：任一压痕中心距试样边缘距离，对于钢、铜及铜合金至少应为压痕对角线长度的2.5倍，对于轻金属、铅、锡及合金至少应为压痕对角线长度的3倍；两相邻压痕中心之间距离，对于钢、铜及铜合金至少应为压痕对角线长度的3倍，对于轻金属、铅、锡及合金至少应为压痕对角线长度的6倍，如果两相邻压痕大小不同，应以较大压痕确定压痕间距。